這一年多來，全球半導體產能緊張，臺積電等芯片制造公司也在積極擴大產能，光刻機之類的設備很搶手，在這個關鍵時刻，全球光刻機一哥ASML的工廠發生火災，目前損失還在評估中。據報道，ASML公司在德國柏林的工廠突然發生了火災，目前可以確認沒有人員傷亡，但具體的損失情況還不確定。ASML公司在給媒體發布的聲明中指出，評估損失需要幾天時間，現在就提出是否影響今年業績或者就損害索賠等問題還為時尚早。
起火的公司前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收購了這家公司，后者主要為ASML光刻機制造光學系統，這是光刻機的三大核心部件之一。這家前柏林格拉斯工廠為 ASML 的光刻系統制造組件，這是用于創建計算機芯片電路的大型機器。ASML 在一份聲明中表示，Berliner Glas 制造的設備包括“晶圓臺、標線卡盤和反射鏡塊”。“目前就損害或該事件是否會對今年的產量計劃產生任何影響發表任何聲明還為時過早，”ASML 表示，并補充說評估損害需要幾天時間，并將更新盡快上市。2021年10月底，ASML發布了Q3財報，凈銷售額52億歐元（約合386億元），毛利率51.7%，凈利潤17億歐元（約合126億元）。官方預計四季度銷售額49億到52億歐元，毛利率在51%到52%。ASML稱，三季度，EUV光刻機系統的訂單量達到了29億歐元，且當季的出貨量和收入創下歷史新高。目前，ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE:3600D，其在客戶那里也達到了每小時加工160片晶圓的創紀錄效率。DUV（深紫外）光刻機方面，完成出貨1000臺ArF（氟化氬浸沒式光刻系統），這距離第一臺浸沒式光刻機（XT:1700Fi）出貨過去了15年。（快科技）
